配备有经调制照射源的光学计量工具

摘要

本发明可包含：可调制照射源，其经配置以照射安置于样本载台上的样本的表面；检测器，其经配置以检测从所述样本的表面发出的照射；照射光学器件，其经配置以将来自所述可调制照射源的照射引导到所述样本的所述表面；收集光学器件，其经配置以将来自所述样本的所述表面的照射引导到所述检测器；及调制控制系统，其通信地耦合到所述可调制照射源，其中所述调制控制系统经配置而以适于产生具有选定相干特征长度的照射的选定调制频率调制所述可调制照射源的驱动电流。另外，本发明包含多个光源的输出的时间循序交错以产生供在多波长时间循序光学计量中使用的周期性脉冲串。

主权项

一种光学计量工具，其包括：可调制照射源，其经配置以照射安置于样本载台上的样本的表面；一组照射光学器件，其经配置以将来自所述经调制照射源的照射引导到所述样本的所述表面；一组收集光学器件；检测器，其经配置以检测从所述样本的表面发出的照射的至少一部分，其中所述组收集光学器件经配置以将来自所述样本的所述表面的照射引导到所述检测器；及调制控制系统，其通信地耦合到所述可调制照射源，其中所述调制控制系统经配置而以适于产生具有选定相干特征的照射的选定调制频率调制所述可调制照射源的驱动电流。