| 发明名称 | 表面聚合物涂层 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于给基板涂以聚合物层的等离子体室(11’)，该等离子体室包括第一电极组(14’)和第二电极组(14’)，该第一及第二电极组被布置于用于容纳基板的样品室的两侧，其中该第一及第二电极组包括多个电极层(141’,142’)，并且其中每个电极组包括用于将聚合物涂覆于基板的每个表面的多个射频电极层或多个接地电极层。 | ||
| 申请公布号 | CN103930192A | 申请公布日期 | 2014.07.16 |
| 申请号 | CN201280051836.3 | 申请日期 | 2012.09.07 |
| 申请人 | 欧罗等离子股份有限公司 | 发明人 | F·莱杰因;F·费迪南蒂 |
| 分类号 | B01D69/12(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | B01D69/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 申发振 |
| 主权项 | 一种等离子体室，用于给基板涂以聚合物层，所述等离子体室包括第一电极组和第二电极组，所述第一电极组和第二电极组被布置在用于容纳基板的样品室的两侧，其中所述第一电极组和第二电极组包括多个电极层，并且其中每个电极组包括用于将聚合物涂覆于基板的每个表面的多个射频电极层或多个接地电极层。 | ||
| 地址 | 比利时奥德纳尔德 | ||