多轴电容式加速度计

摘要

本实用新型提供了一种多轴电容式加速度计，所述多轴电容式加速度计的XY轴结构层的弹性结构采用中间长、两边递减的扇形结构，该扇形结构具有较好的应力释放能力，并且相对于传统的长条形的折叠梁结构而言其长度较短，形成于基底上的用作布线的第一层多晶硅可不经过所述弹性结构正下方，可减小工艺制作过程中由于底层布线形成的台阶对所述弹性结构性能的影响。

主权项

一种多轴电容式加速度计，其特征在于，包括基底和XY轴结构层，所述XY轴结构层包括可动质量块、中心锚点、弹性结构以及多个检测电极，所述多个检测电极用于检测X方向和Y方向的加速度，所述可动质量块与所述中心锚点和弹性结构相连，所述弹性结构为扇形折叠梁结构。