用于压制基板之双重平板及压制基板的方法;DOUBLE PLATE FOR PRESSING SUBSTRATE AND METHOD FOR PRESSING SUBSTRATE

摘要

本发明揭示一种用于压制基板之双重平板以及一种用于压制基板之方法。根据本发明之一实施例,系提供一种用于压制基板之双重平板,该双重平板包括:一第一平板;一第二平板,具有与第一平板不同的一热膨胀系数;以及一黏着层,在第一平板与第二平板之间黏着第一与第二平板,并且缓冲藉由各个第一与第二平板之热膨胀对于彼此所造成的影响,其中,在压制复数个基板时,将用于压制基板之双重平板插入于复数个基板之间。此外,系提供一种用于压制基板之方法。