成膜装置

摘要

本发明之成膜装置包括处理容器、排气装置、内侧支持部、外侧支持部、一个以上之载置台、气体供给部、及加热器部。内侧支持部具有圆筒形状，且于处理容器内能以轴线为中心旋转地设置。外侧支持部具有圆筒形状，且于处理容器内与内侧支持部同轴地设置，并且能以轴线为中心旋转地设置。载置台具有由内侧支持部支持之内侧缘及由外侧支持部支持之外侧缘。又，一个以上之载置台于以轴线为中心之环状之区域提供复数个基板载置区域。加热器部固定配置于内侧支持部与外侧支持部之间、且一个以上之载置台之下方。