| 发明名称 | 一种机械手臂抓器以及机械手臂 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种机械手臂抓器及机械手臂，所述机械手臂抓器的钩子的拐角区域设置有多个突起，凭肉眼即可观测所述若干突起的磨损情况，进而判断是否需要更换机械手臂抓器的钩子，避免晶圆因为钩子损伤而受到金属污染,提高产品的良率。 | ||
| 申请公布号 | CN203721694U | 申请公布日期 | 2014.07.16 |
| 申请号 | CN201420019124.X | 申请日期 | 2014.01.13 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 | 发明人 | 李强;杜亮;常延武;詹扬;吴兵 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种机械手臂抓器，包括一钩子，其特征在于，在所述钩子的拐角区域设置有若干突起。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号 | ||