提高焊接垫性能的工艺

摘要

本发明提出了一种提高焊接垫性能的工艺，在形成焊接垫之后，对焊接垫进行高温炉管处理之前，先对焊接垫进行预处理，形成预处理钝化层，以保护在长时间等待在高温炉管处理前的焊接垫，并且预处理能够去除残留在焊接垫表面的氟，避免氟在焊接垫上形成不良晶体，造成焊接垫的性能下降，由于形成了预处理钝化层能够保护焊接垫，高温炉管处理之后无需使用酸性后处理，也就避免了对焊接垫造成损害形成缺陷，进一步提高了焊接垫的性能。

主权项

一种提高焊接垫性能的工艺，所述工艺包括步骤：提供晶圆，所述晶圆表面形成有金属互连线层；在所述金属互连线层上形成焊接垫；对所述焊接垫进行预处理，在所述焊接垫上形成预处理钝化层；对晶圆进行高温炉管处理。