发光装置及其制造方法

摘要

一种发光装置的制造方法，包括：在衬底上形成分离层；在所述分离层上形成半导体电路元件层和第一电极；形成重叠于第一电极的端部的隔断墙；在第一电极上形成有机物层；有机物层的发同一种颜色的光的有机物层相邻地排列为一列，并且沿第一方向延伸；在有机物层上形成第二电极，该第二电极接触于隔断墙并使用与隔断墙的紧贴性强的材料而形成；以及在垂直于第一方向的第二方向上通过分离层从衬底分离包含半导体电路元件层、第一电极、隔断墙、有机物层和第二电极的叠层结构。

主权项

一种发光装置的制造方法，包括如下步骤：在衬底上形成隔断墙，该隔断墙包括沿第一方向延伸的多个条形部分；在所述衬底上的所述隔断墙的多个条形部分之间分别形成发红色光的有机物层、发绿色光的有机物层和发蓝色光的有机物层；以接触于所述隔断墙的方式在所述发红色光的有机物层、所述发绿色光的有机物层和所述发蓝色光的有机物层上形成电极；以及沿垂直于所述第一方向的第二方向通过分离层从所述衬底分离包含所述隔断墙、所述发红色光的有机物层、所述发绿色光的有机物层、所述发蓝色光的有机物层和所述电极的叠层结构，其中，所述分离层包括包含金属的第一层和包含金属氧化物的第二层，并且其中，所述第二层通过氧气气氛下的等离子体处理形成。