射频匹配方法及装置、等离子体设备

摘要

本发明公开了一种射频匹配方法及装置、等离子体设备，该方法包括：传感器模块获取射频电源的电压幅度检测值、电流幅度检测值和相位差检测值；根据电压幅度检测值、电流幅度检测值和相位差检测值获取传感器第一输出值，并根据电压幅度检测值获取传感器第二输出值，以及根据电流幅度检测值获取传感器第三输出值，并将传感器第一输出值、传感器第二输出值和传感器第三输出值传送至控制模块；控制模块根据传感器第一输出值、传感器第二输出值和传感器第三输出值，获取射频匹配装置的输入阻抗，并根据输入阻抗，通过控制执行模块调整匹配网络的阻抗以匹配射频电源的输出阻抗。本发明简化了输入阻抗的运算类型和运算时间，提高了传感器的测量精度。

主权项

一种用于等离子体腔室的射频匹配方法，其特征在于，包括如下步骤：传感器模块获取射频电源的电压幅度检测值|V|'、电流幅度检测值|I|'和相位差检测值α'；根据所述电压幅度检测值|V|'、电流幅度检测值|I|'和相位差检测值α'获取传感器第一输出值，并根据所述电压幅度检测值|V|'获取传感器第二输出值，以及根据所述电流幅度检测值|I|'获取传感器第三输出值，并将所述传感器第一输出值、传感器第二输出值和传感器第三输出值传送至控制模块，其中，所述传感器模块根据所述电压幅度检测值|V|'、电流幅度检测值|I|'和相位差检测值α'通过以下公式获取所述传感器第一输出值、传感器第二输出值和传感器第三输出值，$A_{3\times 1}=M_{3\times 3}·\left[\begin{array}{c}{\left|V\right|}^{\prime }\\ {\left|I\right|}^{\prime }\\ {\alpha }^{\prime }\end{array}\right]+N_{3\times 1},$其中，$A_{3\times 1}=\left[\begin{array}{c}{a}_0\\ a_1\\ a_2\end{array}\right],$a₀为传感器第一输出值、a₁为传感器第二输出值、a₂为传感器第三输出值；M_3×3为预设的第一系数矩阵，$N_{3\times 1}=\left[\begin{array}{c}{n}_0\\ n_1\\ n_2\end{array}\right]$为常数矩阵，所述第一系数矩阵M_3×3为：$M_{3\times 3}=\left(\begin{array}{ccc}{m}_{11}& m_{12}& m_{13}\\ m_{21}& 0& 0\\ 0& m_{32}& 0\end{array}\right),$其中，m₁₁、m₁₂、m₁₃、m₂₁和m₃₂分别为不为0的常数，所述第一系数矩阵M_3×3对应所述传感器模块的内部电路连接；和所述控制模块根据所述传感器第一输出值、传感器第二输出值和传感器第三输出值，获取射频匹配装置的输入阻抗，并根据所述输入阻抗，通过控制执行模块调整匹配网络的阻抗以匹配射频电源的输出阻抗。