一种高纯度半导体激光器水冷装置

摘要

一种高纯度半导体激光器水冷装置，其特点是：电导率仪设置在水箱上，水箱与水泵的输入端相连接，水泵的输出端通过三通分别连接第一电磁阀与水过滤器，水过滤器中装有高精度PP摺叠滤芯，第一电磁阀与树脂过滤器相连接，并经树脂过滤器连接回水箱，作为水冷系统的冷却水出口的水过滤器输出端为连接激光器的预留接口，流经激光器的冷却水经由水冷系统的入口作为冷却水回归水箱的起始点，水冷系统的入口通过三通分别连接第二电磁阀和流量温度计，后经第三电磁阀回到水箱，单向阀与第二电磁阀相连接，作为反吹气回水的接口。本发明具有高纯度过滤、快速离子净化、反吹气回水回路以及与上位机通讯和控制的功能，应用在半导体激光器水冷系统中。

主权项

一种高纯度半导体激光器水冷装置，包括有电导率仪、电磁阀、水过滤器、树脂过滤器、流量温度计、气体输送系统，其特征在于：电导率仪17设置在水箱1上，水箱1与水泵2的输入端相连接，水泵2的输出端通过三通分别连接第一电磁阀3与水过滤器5，水过滤器5中装有高精度PP摺叠滤芯，第一电磁阀3与树脂过滤器4相连接，并经树脂过滤器4连接回水箱1，作为水冷系统的冷却水出口6的水过滤器5输出端为连接激光器的预留接口，流经激光器的冷却水经由水冷系统的入口7作为冷却水回归水箱的起始点，水冷系统的入口7通过三通分别连接第二电磁阀10和流量温度计8，后经第三电磁阀9回到水箱，单向阀11与第二电磁阀10相连接，作为反吹气回水的接口。