像素单元成品结构和半成品结构

摘要

本实用新型公开了一种像素单元成品结构及半成品结构。像素单元成品结构包括：上层结构和下层结构，所述上层结构和下层结构之间设置有空腔、以及支撑体，所述上层结构从下到上依次包括支撑膜层、热敏感层、吸收传输层、保护膜层，所述下层结构包括从下到上依次包括衬底、缓冲层、反射层。本实用新型中，通过在像素单元的上层结构和下层结构之间增加了支撑体，同时，在上层结构中增加支撑膜层，并辅以保护膜层以平衡应力，提高了像素单元的机械强度，避免了应力失配引起的传感器结构变形、崩裂，进一步提高产品合格率。

主权项

一种像素单元成品结构，其特征在于，包括：上层结构和下层结构，所述上层结构和下层结构之间设置有空腔、以及支撑体，所述上层结构从下到上依次包括支撑膜层、热敏感层、吸收传输层、保护膜层，所述下层结构包括从下到上依次包括衬底、缓冲层、反射层。