具有提供额外稳定状态之突起之机电系统装置;ELECTROMECHANICAL SYSTEMS DEVICE WITH PROTRUSIONS TO PROVIDE ADDITIONAL STABLE STATES

摘要

本发明提供用于一机电系统(EMS)装置之系统、方法及器件，其中一或多个突起连接至该EMS装置之一表面。在一态样中，该EMS装置包括：一基板；一静止电极，其在该基板上方；及一可移动电极，其在该静止电极上方。该可移动电极经组态以藉由该可移动电极与该静止电极之间的静电致动而移动至横越一间隙之三个或三个以上位置。当该等突起在横越该间隙之该等位置中之一者处接触该EMS装置之任何表面时，该等突起改变该EMS装置之硬度。接触该一或多个突起之该等表面中至少一者为非刚性。在一些实施中，该等突起具有大于约20 nm之一高度。