热处理方法及热处理装置

摘要

热处理方法，系包含：将成膜了low－k膜及配线层之晶圆W，收容于热处理炉41内之工程、和于热处理炉41内，将气相的无水醋酸藉由质流控制器44d而一面调整流量同时供给之工程、和将在供给了气相的无水醋酸之热处理炉41内的晶圆W，藉由设置于热处理炉41的加热器41b而加热的工程。

主权项

一种热处理方法，其特征为包含：将成膜了低介电常数层间绝缘膜(low-k膜)及/或金属膜之基板收容至处理容器内、和于前述处理容器内，将含有无水羧酸、酯、有机酸铵盐、有机酸胺盐、有机酸胺、有机酸醯腁、有机酸的金属错合物及有机酸的金属盐之中的至少1种之具有还原性的气相有机化合物，一面进行流量调整，同时进行供给、和加热被供给了前述气相有机化合物的前述处理容器内之基板，前述具有还原性的气相有机化合物，系为并不会进行多体化之有机化合物。