遮罩定位光学系统

摘要

〔课题〕提供一种利用透过照明方式在性能上较为优异，而且，可以有效活用遮罩之遮罩定位光学系统。;〔解决手段〕一种遮罩定位光学系统，乃是在把蒸镀材料蒸镀到基板上的真空蒸镀室(1)中，进行基板(6)与金属遮罩(102)之定位；其中，具备有：固定框架(101)，乃是形成在金属遮罩的周围，在四个角落形成「L」字形状的导光路径；以及台(201)，乃是在搭载基板到表面的同时，在其四个角落，形成「L」字形状的导光路径；藉由被导到形成在固定框架的一部分的导光路径以及形成在台的一部分的导光路径内的光所形成之定位标记的透过像，来进行与金属遮罩的定位。

主权项

一种遮罩定位光学系统，乃是在把蒸镀材料蒸镀到基板上的真空蒸镀室中，进行该基板与利用金属薄膜所构成的金属遮罩之定位；其特征在于：具备有：固定框架，乃是形成在前述金属遮罩的周围，且在其四个角落形成「L」字形状的导光路径；以及台，乃是在搭载前述基板到表面的同时，在其四个角落，在对应到前述固定框架的导光路径的位置，形成「L」字形状的导光路径；藉由被导到形成在前述固定框架的导光路径以及形成在前述台的导光路径内的光所形成设在前述金属遮罩的一部份的金属遮罩标记与设在前述基板的一部份的定位标记之透过照明所形成的像，来进行与金属遮罩的定位。