聚合性含氟磺酸盐、含氟磺酸盐树脂、阻剂组合物及使用其之图案形成方法

摘要

根据本发明，提供一种具有下述通式(3)所示之重复单元之磺酸盐树脂。;[化147];(3);(式中，X表示氢原子或氟原子，n表示1~10之整数；R1表示氢原子、卤素原子或者碳数1~3之烷基或含氟烷基；R2表示RAO、RBRCN中之任一者；M+表示一价阳离子)该磺酸盐树脂可较佳地用作于侧链组入磺酸鎓盐且阴离子固定于树脂侧且对丙二醇单甲醚乙酸酯之溶解度较高的阻剂树脂。

主权项

一种磺酸盐树脂，其具有下述通式(3)所示之重复单元，(式中，X分别独立表示氢原子或氟原子；n表示1~10之整数；R1表示氢原子、卤素原子、碳数1~3之烷基或碳数1~3之含氟烷基；R2表示RAO、RBRCN中之任一者；此处，RA、RB及RC相互独立表示氢原子、碳数1~20之烷基、碳数2~20之烯基、碳数2~20之氧代烷基、碳数6~18之芳基、碳数6~18之芳烷基或碳数3~30之内酯基；RB及RC可相互键结而与RBRCN之氮原子(N)一同形成环员数为3~18之杂环；又，RA、RB及RC中所含之碳上之氢原子可经取代基而取代；M+表示一价阳离子)。