固态成像装置，制造固态成像装置之方法、及电子设备

摘要

一种固态成像装置包括：一基板；在该基板之一深度方向上排列于该基板中之复数个光电二极体；一用于读取该等光电二极体中之信号电荷之垂直读出闸电极，该垂直读出闸电极嵌入该基板中以使得该读出闸电极在该基板之该深度方向上延伸；一覆盖该读出闸电极之一底部部分及一侧表面之暗电流抑制区，该暗电流抑制区包括一在该读出闸电极之该侧表面上的具有一均匀厚度之第一传导类型半导体区；及一安置于该第一传导类型半导体区与该等光电二极体之间的读取通道区，该读取通道区包括一第二传导类型半导体区。

主权项

一种固态成像装置，其包含：一基板；一像素；及一像素分离区，其使复数个像素彼此分离，其中该像素包括位于该基板中之复数个光电二极体，该复数个光电二极体在该基板之一深度方向上相对于彼此垂直安置，用于读取该复数个光电二极体中之一第一光电二极体之一信号电荷的一平面型闸电极，该第一光电二极体系安置于靠近该基板之一表面该平面型闸电极系提供于该基板之该表面上，及用于读取该复数个光电二极体中之一第二光电二极体之一信号电荷的一垂直闸电极，该第二光电二极体系安置于该第一光电二极体下方的一位置，该垂直闸电极嵌入该基板中以使得该垂直闸电极在该基板之该深度方向上延伸。