微机电系统压力感测元件及其制作方法

摘要

本发明提出一种微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)压力感测元件，包含：形成于基板上表面之至少一空腔，该空腔定义出一岛块；与基板上表面以键合方式部分连接之隔膜，该隔膜与该岛块至少部分键合；与隔膜耦接之至少一感测单元，以感测隔膜之变形状况；以及形成于基板下表面上方之一开口，其与空腔连通。

主权项

一种微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)压力感测元件，包含：至少一空腔形成于一基板之一上表面，由顶视图视之，该空腔定义出一岛块之外围，并使该岛块与该基板至少部分分离；一隔膜(diaphragm)与该基板之上表面以键合方式部分连接，并与该岛块至少部分键合，其中该隔膜和该基板连接之位置不同于该隔膜和该岛块键合之位置；至少一感测单元，与该隔膜耦接，以感测该隔膜之变形状况；以及一第一开口形成于该基板之一下表面，该第一开口与该空腔连通，藉此，于该隔膜变形时，该岛块可相对于该基板而移动，该岛块用以增加感测的灵敏度。