探针的针迹转印构件及探针装置

摘要

本发明的课题是在于提供一种可在极短时间消去针迹来提高总处理能力，且在高温检查时可减轻温度的影响之探针的针迹转印构件。;本发明之探针的针迹转印构件(17)是在使可移动的晶圆吸盘(11)上的晶圆(W)与复数的探针(12A)电性接触而进行的晶圆(W)的电气特性的检查之前进行复数的探针(12A)的对准时，为了复数的探针(12A)的对准，而被转印复数的探针(12A)的针迹(17A)之附设于晶圆吸盘(11)的针迹转印构件(17)，其特征为：具有在玻璃转移温度(TG)弹性率可逆且急剧地变化于弹性率高的玻璃状态与弹性率低的橡胶状态之间的形状记忆聚合物。

主权项

一种探针装置，系使载置于被设定成预定的温度之可移动的载置台上的被检查体与配置于上述载置台的上方的复数的探针电性接触而进行上述被检查体的电气特性检查之探针装置，其特征系具备：针端检出装置，其系附设在上述载置台；针迹转印构件，其系被支持于上述针端检出装置上，且转印上述复数的探针的针迹；及摄影手段，其系摄取被转印于上述针迹转印构件的上述复数的探针，上述针端检出装置系具有：变位感测器，其系包含可昇降地支持装有上述针迹转印构件的接触体的汽缸机构，且检测出上述接触体的位置；及压力赋予手段，其系藉由被供给至上述汽缸机构的压缩空气来对上述接触体上的上述针迹转印构件赋予预定的压力，构成可在由上述压力赋予手段来对上述汽缸机构赋予的第1压力下上述载置台上昇的期间经由移动至上述变位感测器侧的上述接触体来检测出上述复数的探针的针端，在比由上述压力赋予手段来对上述汽缸机构赋予的上述第1压力还高的第2压力下上述载置台上昇的期间将上述复数的探针的针迹转印至上述针迹转印构件，且藉由上述摄影手段来摄取上述针迹转印构件的上述复数的探针的针迹而进行上述复数的探针的对准，上述针迹转印构件系由：在玻璃转移温度，于弹性率高的玻璃状态与弹性率低的橡胶状态之间，弹性率为可逆且急剧地变化的形状记忆聚合物所构成，且上述玻璃转移温度被设定成接近上述载置台的设定温度，上述复数的探针的针迹系在比上述玻璃转移温度低且上述弹性率高的玻璃状态的温度下被转印至上述针迹转印构件，在比上述玻璃转移温度高且上述弹性率低的橡胶状态的温度下从上述针迹转印构件消失。