循环制备矽晶之制程方法

摘要

本发明系关于一种循环制备矽晶之制程方法，其系将关键中间产物保留于循环制程中，仅需添加必要原料即可持续进行生产，以及透过控制参数调整反应环境，使反应速率达到较佳状态，进而使整体矽晶的制造流程达到快速高效、节省原物料投入及减少废弃物排放的目标。

主权项

一种循环制备矽晶之制程方法，其步骤包含：经由一进料口投入一氟矽酸钠固体；加热裂解该氟矽酸钠固体，产生一四氟化矽及一氟化钠；还原该四氟化矽，产生矽晶与副产物一氢氟酸；注入该氢氟酸于一第一反应槽；投入一非晶二氧化矽于该氢氟酸，产生一氟矽酸；注入该氟矽酸于一第二反应槽；投入一钠盐于该氟矽酸，产生一氟矽酸钠；及脱水及乾燥该氟矽酸钠，获得一氟矽酸钠回收物；其中，将该氟矽酸钠回收物再投入该进料口用以加热裂解进行循环制备矽晶。