成膜装置和成膜方法

摘要

提供一种成膜装置和成膜方法，可精确地控制形成在成膜标的物上的薄膜的厚度。成膜装置(1)包括用于在预定成膜等待位置与预定成膜位置之间移动成膜源(21)的移动部(成膜源单元(20))，此移动部保持测量用石英振荡器(22)和校正用石英振荡器(23)以维持它们相对于成膜源(21)的相对位置。在成膜标的物上形成膜的成膜步骤当中，执行利用校正用石英振荡器(23)的监测值校正测量用石英振荡器的监测值的校正步骤。

主权项

一种用于在成膜标的物上形成成膜材料的膜的成膜装置，包括：成膜源，用于加热该成膜材料以及用于释放出该成膜材料的蒸气；移动部，用于使该成膜源在预定成膜等待位置与预定成膜位置之间移动；测量用石英振荡器，用于监测从该成膜源释放出的该成膜材料的蒸气的量；以及校正用石英振荡器，用于校正该测量用石英振荡器的测量值，其中，该移动部保持该测量用石英振荡器和该校正用石英振荡器。