线圈、定位元件、致动器及微影装置

摘要

本发明揭示一种定位元件，其包括具有一定子及一平移器之一平面马达，该定子及该平移器中之一者包括一周期性磁体结构，且该定子及该平移器中之另一者包括经调适以载运一电流之至少一线圈，其中该线圈包括一薄片状导电材料卷绕条带，且其中该线圈之一边缘具备一圆形剖面。

主权项

一种用于一平面马达或致动器之线圈，该线圈包含：一薄片状导电材料卷绕条带(wound strip)，该卷绕条带对着一轴卷绕，该线圈具有一实质上的圆柱状；由该材料制成并实质上垂直于该轴的一平坦的顶部分及底部分，其中由该导电材料制成的该线圈的一边缘在其实质上一整个长度范围实质上平行于该轴，且由该边缘与该平坦顶部分或底部分间的一相交所界定的该线圈的一外边缘具有一圆形剖面。