底部漏极横向双扩散金属氧化物半导体功率金属氧化物半导体场效应管的结构及制备方法

摘要

本发明提出了带有改良漏极接头结构的横向双扩散金属氧化物半导体器件及其制备方法。这种半导体器件包括一个半导体衬底；一个位于半导体衬底上的半导体外延层；一个设置在外延层顶面上的漂流区；一个位于漂流层顶面上的源极区；一个位于源极区和漂流区之间的半导体外延层表面附近的沟道区；一个位于沟道区顶部的栅极电极上方的栅极；以及一个电连接漂流层和衬底的漏极接触沟道。接触沟道包括一个从漂流区垂直形成、穿过外延层、一直到衬底，并用导电漏极插塞填充的沟道；沿沟道的侧壁形成的电绝缘隔离片，以及一个位于漏极接触沟道上方的导电漏极带，用于将漏极接触沟道电连接到漂流区。

主权项

一种半导体器件，其特征在于，包括：一个用作漏极的半导体衬底；一个位于半导体衬底上的半导体外延层；一个设置在外延层顶面上的漂流区；一个位于漂流区顶面上的源极区；一个位于源极区和漂流区之间的半导体外延层表面附近的沟道区；一个位于沟道区顶部的栅极介电层上方的导电栅极；一个位于漂流区和外延层中的漏极接触沟道，用于将漂流层电连接到半导体衬底上，漏极接触沟道包括：一个从漂流区的上表面开始、垂直穿过外延层、一直到半导体衬底，并用导电漏极插塞填充的沟道；沿漏极接触沟道的侧壁形成的电绝缘隔离片，用于从漂流区和外延层中将漏极插塞电绝缘、并阻止掺杂物扩散到漏极插塞或从漏极插塞中扩散出来；以及一个位于漏极接触沟道上方的导电漏极带，用于将漏极接触沟道电连接到漂流区。