纵型热处理装置

摘要

本发明系关于一种处理装置，其具有移载板，以及该移载板的上面载置有被处理基板时，可在将该被处理基板保持在水平的状态下移动该移载板之移载机构。其中该移载板具有在前后方向从基端部朝前端部水平地延伸之单侧支承构造。该移载板的上面设置有以其前后方向的略部与后部将被处理基板水平地支承之复数支承突起部。该移载板的前端侧未支承有该被处理基板。

主权项

一种处理装置，其具有移载板，以及该移载板的上面载置有被处理基板时，可在将该被处理基板保持在水平的状态下移动该移载板之移载机构，其特征在于：该移载板具有在前后方向从基端部朝前端部水平地延伸之单侧支承构造；该移载板的上面设置有以其前后方向的略中央部与后部将被处理基板经时性且水平地支承之复数支承突起部；该移载板的前端侧未支承有该被处理基板。