Interferometer

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Interferometer, das eine Lichtquelle und einen Strahlteiler umfasst, über den das von der Lichtquelle emittierte Strahlenbündel in ein Messstrahlenbündel und ein Referenzstrahlenbündel aufgeteilt wird. In einem sich in einer ersten Richtung erstreckenden Messarm propagiert das Messstrahlenbündel zwischen dem Strahlteiler und einem Messreflektor. Über den Messreflektor wird ein Versatz zwischen dem darauf einfallenden Messstrahlenbündel und dem davon zurückreflektierten Messstrahlenbündel senkrecht zur Einfallsrichtung bewirkt. In einem sich in einer zweiten Richtung erstreckenden Referenzarm propagiert das Referenzstrahlenbündel zwischen dem Strahlteiler und einem Referenzreflektor. Ferner weist das Interferometer eine Detektoranordnung auf, der die überlagerten und wiedervereinigten Mess- und Referenzstrahlenbündel zuführbar sind und über die ein abstandsabhängiges Interferenzsignal bezüglich der Position des Messreflektors erzeugbar ist. Der Messreflektor umfasst jeweils mindestens ein Transmissionsgitter sowie ein Reflektorelement.