| 摘要 |
1. Технологическое устройство для наноперемещений изделия, содержащее неподвижную направляющую, стол с подложкой, пьезоэлектрический преобразователь, жестко связанный с неподвижной направляющей, и зонд, связанный с преобразователем, отличающееся тем, что снабжено узлом подачи хладагента и тепловой трубой, посредством которой зонд связан с преобразователем, тепловая труба также соединена с узлом подачи хладагента.2. Технологическое устройство по п. 1, отличающееся тем, что зонд и подложка выполнены из двух разноименных токопроводящих материалов, связанных с усилителем сигналов и блоком измерения. |
