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Bolometer mit folgenden Merkmalen: einer Membran (10); einem ersten Abstandshalter (150a); und einem zweiten Abstandshalter (150b), wobei die Membran (10) eine Widerstandsschicht (170), eine erste Schutzschicht (140), eine zweite Schutzschicht (180) und eine Kontaktschicht (160) umfasst, wobei sich die Widerstandsschicht (170) und die Kontaktschicht (160) zwischen der ersten Schutzschicht (140) und der zweiten Schutzschicht (180) erstrecken und dabei die erste Schutzschicht (140) dem Grund zugewandt ist; wobei die Kontaktschicht (160) an einer dem Grund zugewandten Seite einen ersten Kontaktbereich aufweist, an dem der erste Abstandshalter (150a) die Kontaktschicht (160) durch eine erste Durchgangsöffnung in der ersten Schutzschicht (140) elektrisch kontaktiert, und einen zweiten Kontaktbereich aufweist, an dem der zweite Abstandshalter (150b) die Kontaktschicht (160) durch eine zweite Durchgangsöffnung in der ersten Schutzschicht (140) elektrisch kontaktiert, und der erste und zweite Abstandshalter (150a), (150b) die Membran (10) in einem vorbestimmten Abstand (198) zu dem Untergrund halten, und wobei die Kontaktschicht (160) lateral durch einen Spalt (162) unterbrochen ist, so dass sich die Kontaktschicht (160) zumindest in zwei Teile gliedert, von denen der erste Teil (160a) den ersten Kontaktbereich und der zweite Teil (160b) den zweiten Kontaktbereich aufweist und innerhalb der Kontaktschicht (160) keine direkte Verbindung von dem ersten Kontaktbereich und dem zweiten Kontaktbereich existiert, und wobei sich die Widerstandsschicht (170) in Kontakt zu dem ersten Teil (160a) der Kontaktschicht (160) und zu dem zweiten Teil (160b) der Kontaktschicht (160) befindet, und wobei die Membran so strukturiert ist, dass ein erster Steg (76a) und ein zweiter Steg (76b) zur thermischen Isolation in der Membran gebildet sind und der erste Steg (76a) eine erste Kontaktregion ausweist, die in Kontakt mit dem ersten Abstandshalter (150a) ist und der zweite Steg (76b) eine zweite Kontaktregion ausweist, die in Kontakt mit dem zweiten Abstandshalter (150b) ist. |
