氧化锌烧结体料片及其制造方法

摘要

本发明提供一种氧化锌烧结体料片，其能够在真空蒸镀成膜中抑制飞溅现象的发生，且能够稳定地获得没有针孔缺陷的透明导电膜。通过针对环状二级粒子的比率为50%以上且由氧化锌粉末或者由氧化锌与掺杂剂的混合粉末构成的造粒粉末进行加压成型，并在常压下以800℃～1300℃的温度使其烧结，进而在压力为1×10^-3Pa以下的真空中以800℃～1300℃的温度保持1分钟以上且10分钟以下的时间以进行还原处理，由此获得具有六方晶系晶体结构，并且将基于采用CuKα射线的X射线衍射的（103）面、（110）面的积分强度分别作为I₍₁₀₃₎、I₍₁₁₀₎时，由I₍₁₀₃₎/(I₍₁₀₃₎＋I₍₁₁₀₎)表示的单轴加压面的取向度为0.48以上的氧化锌烧结体料片。

主权项

一种氧化锌烧结体料片，其特征在于，通过将由氧化锌粉末或者由作为掺杂剂的添加元素与氧化锌的混合粉末构成的原料粉末制成浆料，并在80℃～100℃的温度下，将排风量调节为能够使由一次粒子凝集成环状而形成的环状二级粒子的比率成为50%以上的排风量来对该浆料进行喷雾干燥而制成造粒粉末，对该造粒粉末进行加压成型而获得成型体，并在常压下以800℃～1300℃的温度对该成型体进行烧结来获得所述氧化锌烧结体料片，所述氧化锌烧结体料片由具有六方晶系晶体结构的氧化锌烧结体构成，或者由具有六方晶系晶体结构且含有掺杂剂的氧化锌烧结体构成，当将基于使用CuKα射线的X射线衍射的（103）面、（110）面的积分强度分别设为I₍₁₀₃₎、I₍₁₁₀₎时，由I₍₁₀₃₎/（I₍₁₀₃₎＋I₍₁₁₀₎）表示的单轴加压面的取向度为0.48以上。