一种掩膜板

摘要

本发明公开一种掩膜板结构及其制造方法。所述掩膜板包括第一区域和第二区域，所述第一区域用于定位，在第一区域内背向衬底的一侧，所述掩膜板边缘与掩膜板框架（或支架）焊接定位处设置有第二凹槽，所述第二凹槽内可容纳一个或多个焊接定位装置；所述第二区域又包含遮挡部分和开口部分，所述开口部分与遮挡部分间隔均匀平行排列，在所述遮挡部分面向衬底的一侧设置有第一凹槽，所述第一凹槽在纵向或横向平行于所述开口部分。本发明同时还公开了一种将所述第一凹槽、第二凹槽设置在掩膜板上的制程方法，采用湿法蚀刻法。本发明的掩膜板结构具有质量轻、强度好、减少衬底损伤等优点。

主权项

一种掩膜板，包含第一区域和第二区域，所述第一区域围绕所述第二区域四周设置；所述第二区域又包含遮挡部分和开口部分，所述开口部分与所述遮挡部分间隔排列，其特征在于：所述第二区域的遮挡部分面向衬底的一侧设置有第一凹槽。