可任意角度安装使用的真空蒸发源

摘要

本实用新型涉及涉及一种可任意角度安装使用的真空蒸发源，热屏蔽组件、真空法兰、容器、固定于所述热屏蔽组件内用于内置容器的加热组件、温度测量组件、安装在所述真空法兰上且分别与加热组件和温度测量组件相电连接的真空电连接器，所述容器可拆卸嵌设于热屏蔽组件远离真空法兰的一端，所述的容器具有内腔且其远离真空法兰的一端设有与内腔相连通的开口，所述的开口处设有伸入内腔的周壁，所述周壁伸入内腔的端部敞开且其面积小于与其处于同一平面内的内腔面积。通过在开口处设有伸入内腔的周壁，并且周壁伸入内腔的端部敞开且其面积小于与其处于同一平面内的内腔面积，当真空蒸发源处于倾斜或者倒置状态时可以防止蒸发材料从开口处掉落。

主权项

一种可任意角度安装使用的真空蒸发源，主要包括热屏蔽组件、用于支撑热屏蔽组件的真空法兰、用于盛放蒸发材料的容器、固定于所述热屏蔽组件内用于内置容器的加热组件、安装于所述容器附近用于测量其温度的温度测量组件、安装在所述真空法兰上且分别与加热组件和温度测量组件相电连接的真空电连接器，所述容器可拆卸嵌设于热屏蔽组件远离真空法兰的一端，其特征在于：所述的容器具有内腔且其远离真空法兰的一端设有与内腔相连通的开口，所述的开口处设有伸入内腔的周壁，所述周壁伸入内腔的端部敞开且其面积小于与其处于同一平面内的内腔面积。