一种精密调节磁控溅射工艺气压装置

摘要

本实用新型公布了一种精密调节磁控溅射气压装置，包括多层阀板装置、阀板间隙密封装置、阀门法兰装置、轴承、动力磁流体密封装置、电机、控制调节装置。其特征在于：所述多层阀板装置，材料为不锈钢板，是多个大小不一的阀板组成一个阀板组的形式，并且每一个阀板是单独独立可调；所述控制调节装置，采用真空测量装置检测真空腔体中压强，根据客户需求的工艺压强和工艺气体气体流量，模拟计算，控制调节该层阀板旋转，旋转的角度，通过控制多层蝶阀不同的开关口的大小，实现真空腔体中的抽气气流的大小，达到真空腔体中稳定、准确、快速调节的气压，精度可达到+/-0.01Pa，并为镀膜节省下了气体的用量，降低了生产成本的同时提高生产效率。

主权项

一种精密调节磁控溅射工艺气压装置，该装置包括多层阀板装置、阀板间隙密封装置、阀门法兰装置、轴承、动力磁流体密封装置、电机、控制调节装置；其特征在于：所述多层阀板装置材料为不锈钢板，是多个大小不一的阀板组成一个阀板组的形式，并且每一个阀板都是单独独立可调；所述阀板间隙密封装置，是在阀板边缘采用耐腐蚀和耐摩擦的氟橡胶材料制成；所述阀门法兰装置是用于将此精密调节磁控溅射工艺气压装置与溅射腔体连接；所述动力磁流体密封装置是用于传输调节阀板动作时，与溅射腔体里连接处的密封；所述控制调节装置，采用真空测量装置检测真空腔体中真空度。