太阳能电池单元及其制造方法

摘要

本发明的太阳能电池单元具有：半导体基板；表面凹凸部，形成于上述半导体基板的受光面侧的主面上；半导体层，沿着该表面凹凸部形成且具有导电型；以及反射防止膜，形成于该半导体层的受光面侧，其中，在上述半导体基板的背面侧的主面上形成钝化膜，在该钝化膜中设置至少1个开口部，形成有：第1背面电极，在上述钝化膜上与上述开口部所占的范围的所有部分重叠、并且覆盖上述开口部；以及第2背面电极，在上述钝化膜上与上述第1背面电极所占的范围的所有部分重叠、并且覆盖上述第1背面电极，从而提供在钝化膜上具有不会引起电极剥离、电极导体的高电阻那样的部分性的背面电极的光电子变换效率高的太阳能电池单元及其制造方法。

主权项

一种太阳能电池单元，具有：半导体基板；以及半导体层，形成于该半导体基板的受光面侧的主面上且具有导电性，该太阳能电池单元的特征在于，在所述半导体基板的背面侧的主面上形成有钝化膜，在该钝化膜设置至少1个开口部，并设置有：第1背面电极，由铝构成，在所述钝化膜上与所述开口部所占的范围的所有部分重叠、并且覆盖所述开口部；以及第2背面电极，包含铝和硅，在所述钝化膜上与所述第1背面电极所占的范围的所有部分重叠、并且覆盖所述第1背面电极。