一种二级反射器的制作方法

摘要

本发明公开了一种二级反射器的制作方法，其包括如下步骤：S100：准备两个绝缘套筒，在所述绝缘套筒上其电极的引出位置处，进行打孔，并对其内壁和端面进行研磨和抛光；S101：将该绝缘套筒彻底清洗；S102：在上述绝缘套筒的内壁上制作出金属电极阵列，并通过小孔将电极引出至绝缘套筒的外侧；S103：制作两个反射电极；S104：将其中一个反射电极组装在一个所述绝缘套筒的一端，将另一个所述反射电极组装在所述两个绝缘套筒之间；S105：完成二级反射器的组装。

主权项

一种二级反射器的制作方法，其包括如下步骤：S100：准备两个绝缘套筒，在所述绝缘套筒上其电极的引出位置处，进行打孔，并对其内壁和端面进行研磨和抛光；S101：将该绝缘套筒彻底清洗；S102：在上述绝缘套筒的内壁上制作出金属电极阵列，并通过小孔将电极引出至绝缘套筒的外侧；S103：制作两个反射电极；S104：将其中一个反射电极组装在一个所述绝缘套筒的一端，将另一个所述反射电极组装在所述两个绝缘套筒之间；S105：完成二级反射器的组装；所述步骤S102中的制作所述内壁电极的步骤包括：S1021：将上述绝缘套筒、电阻丝和待蒸发的金属放置在一个真空腔内；S1022：加热该电阻丝，使得待蒸发的金属熔化蒸发，金属蒸汽到达绝缘套筒内壁后淀积成膜；S1023：在所述绝缘套筒的内壁喷涂一层光刻胶，并将其烘干；S1024：使用曝光系统将需要曝光的光刻胶曝光；S1025：将所述光刻胶显影，制作出电极图形，并保留被所述光刻胶覆盖的金属，移出未被所述光刻胶覆盖的金属；S1026：将光刻完毕后的绝缘套筒内放入腐蚀液腐蚀金属，制作出环状电极；S1027：将绝缘套筒内表面的光刻胶除去；S1028：完成内壁电极的制作；所述步骤S1024中的曝光系统包括线性位移调节架、聚焦透镜和设置在所述调节架上的激光器，所述绝缘套筒的端面上设置有套管端面位置传感器；曝光时，以所述绝缘套筒的端面作为参照面，在所述套管端面位置传感器作用下对激光器发出的激光束照射位置进行实时校准定位，所述激光束被聚焦透镜聚焦在所述绝缘套筒内壁上，通过旋转所述绝缘套筒，曝光需要曝光的光刻胶；在金属蒸发时，上下移动所述绝缘套筒，以使其小孔侧壁上也有良好的金属覆盖。