发明名称 | 一种基于物理吸附的石墨烯薄膜转移方法 | ||
摘要 | 一种基于物理吸附的石墨烯薄膜转移方法,属于材料技术领域,涉及大面积高质量的将石墨烯转移到柔性或刚性目标基片上。首先将PET-硅胶结构的硅胶面贴附于化学气相沉积法制备的石墨烯/金属层上;然后采用化学腐蚀液体将石墨烯薄膜上的金属层腐蚀掉;将PET-硅胶/石墨烯结构紧贴在要转移的目标基片上;揭起PET-硅胶层,完成石墨烯到目标基片上的转移。采用本发明的方法,能迅速、简单、高效、大面积、高质量将石墨烯薄膜转移到柔性和刚性基片上,由于不涉及有机胶体,而是采用硅胶层与石墨烯的物理吸附,从而保证了转移后无胶残留,而且PET-硅胶层可重复利用,降低了转移成本和环境污染,适合于石墨烯薄膜的大规模应用和生产。 | ||
申请公布号 | CN102795619B | 申请公布日期 | 2014.07.09 |
申请号 | CN201210322007.6 | 申请日期 | 2012.09.04 |
申请人 | 南开大学 | 发明人 | 刘智波;陈旭东;田建国 |
分类号 | C01B31/04(2006.01)I | 主分类号 | C01B31/04(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 一种基于物理吸附的高质量大面积石墨烯薄膜转移方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤1:利用玻璃片或其它具有较平的平面结构将化学气相沉积法的石墨烯/金属薄膜处理平整; 步骤2:将PET‑硅胶双层结构吸附于石墨烯/金属薄膜上,获得PET‑硅胶/石墨烯/金属结构; 步骤3:将步骤2获得的PET‑硅胶/石墨烯/金属结构置于腐蚀溶液中,将金属层腐蚀掉后获得PET‑硅胶/石墨烯结构; 步骤4:利用盐酸稀溶液、去离子水对PET‑硅胶/石墨烯结构进行清洗,用氮气吹干;步骤5:将步骤4清洗获得的PET‑硅胶/石墨烯结构紧贴到目标基片上; 步骤6:将PET‑硅胶层揭起,实现石墨烯到目标基片的转移。 | ||
地址 | 300071 天津市南开区卫津路94号 |