主权项 |
一种多孔纳米二氧化硅减反射膜的制备方法,其特征在于,包括步骤:S1、首先进行抛光,包括:S11、水洗:用清水将玻璃表面反复清洗至玻璃表面无污物;S12、醇洗:将经步骤S11处理过的玻璃浸没在无水乙醇中,用超声波清洗5~10分钟,然后将玻璃表面醇液吹干;S13、酸洗:将经步骤S12处理过的玻璃浸没在含有HF或H<sub>2</sub>SiF<sub>6</sub>的酸液中,在温度20~30℃清洗1~12分钟;S2、进行裂纹,包括:将经步骤S1处理过的玻璃浸没在包括0.5~1wt‰的HF、0.5~1wt‰的NH<sub>4</sub>HF<sub>2</sub>混合溶液进行裂纹,裂纹温度为45~55℃,裂纹时间为18~25分钟;所述混合溶液还包括0.5~5wt%的山梨醇或1~3wt%的丙三醇;S3、最后进行造孔,包括:将15~40wt%的H<sub>2</sub>SiF<sub>6</sub>和1~4wt%的SiO<sub>2</sub>混合成悬浊液,然后用真空泵抽滤以获得清液,在所述清液中加入2~10wt‰的硼酸,从而获得造孔溶液,将经步骤S2处理的玻璃浸没在所述造孔溶液中,造孔温度为50~60℃,造孔时间为25~33分钟,从而在所述玻璃表面形成多孔纳米二氧化硅减反射膜。 |