麦克风

摘要

本实用新型提供了一种麦克风，其包括基板、与基板盖接形成收容腔的外壳以及置于收容腔中的ASIC芯片和设有背腔的MEMS芯片，所述ASIC芯片与所述MEMS芯片电连接，所述基板设有靠近外壳的上表面和与所述上表面相对的下表面，所述基板设有自上表面向下表面凹陷的凹槽，所述MEMS芯片置于所述凹槽中，所述凹槽的深度大于所述MEMS芯片的高度。本实用新型的麦克风便于产品的微型化。

主权项

一种麦克风，其包括基板、与基板盖接形成收容腔的外壳以及置于收容腔中的ASIC芯片和设有背腔的MEMS芯片，所述ASIC芯片与所述MEMS芯片电连接，所述基板设有靠近外壳的上表面和与所述上表面相对的下表面，其特征在于：所述基板设有自上表面向下表面凹陷的凹槽，所述MEMS芯片置于所述凹槽中，所述凹槽的深度大于所述MEMS芯片的高度。