化学机械抛光后清洁装置及方法

摘要

一种用于清洁诸如用于基板的化学机械抛光后的基板的刷子，使用非对称结节或具有变化的空间、尺寸、特征以及密度的结节以提供改善的基板清洁。

主权项

一种用于在基板的化学机械抛光后清洁所述基板的刷子，所述刷子具有圆柱形基部，所述圆柱形基部具有轴线以及一对端部，所述圆柱形从端部延伸到端部，并且多个结节从所述圆柱形基部延伸并且与其成一体，所述刷子具有预期旋转方向，由此每个结节具有前侧和后侧，所述圆柱形基部和结节包括一体的多孔泡沫结构，所述多个结节的每个都具有以下形状，所述形状相对于中心地延伸通过每个相应结节和通过所述圆柱形基部轴线的径向和轴向延伸平面是非对称的。