肟酯化合物、自由基聚合引发剂、聚合性组合物、负型抗蚀剂以及图像图案

摘要

本发明的目的是提供能够作为高敏感度的自由基聚合引发剂而发挥功能的新型肟酯化合物以及使用了它的固化性组合物。本发明的另一目的是提供特别是能够很好地用于光致抗蚀剂材料的负型抗蚀剂材料以及使用了该负型抗蚀剂的图像图案形成方法。一种由下述通式(1)表示的自由基聚合引发剂(A)，式中，R¹、R²选自烷基、芳基、杂环基等中；R³～R⁵选自氢原子、烷基等中；R⁶～R⁹选自氢原子、烷基、芳基、杂环基等中；R¹⁰～R¹⁴选自氢原子、氰基、硝基、卤代烷基、亚磺酰基、磺酰基、或酰基等中，R¹⁰～R¹⁴不全部同时为氢原子。

主权项

一种在N‑苯基咔唑骨架的苯基上取代有吸电子性取代基的α‑酮肟酯化合物，其由下述通式(1)表示：[化1]式中，R¹表示取代或未取代的链烯基、取代或未取代的烷基、取代或未取代的烷氧基、取代或未取代的芳基、取代或未取代的芳氧基、取代或未取代的杂环基、取代或未取代的杂环氧基、取代或未取代的烷基硫烷基、取代或未取代的芳基硫烷基、取代或未取代的烷基亚磺酰基、取代或未取代的芳基亚磺酰基、取代或未取代的烷基磺酰基、取代或未取代的芳基磺酰基、取代或未取代的酰基、取代或未取代的酰氧基、取代或未取代的氨基、取代或未取代的膦基、取代或未取代的氨基甲酰基、或者取代或未取代的氨磺酰基，R²表示取代或未取代的链烯基、取代或未取代的烷基、取代或未取代的烷氧基、取代或未取代的芳基、取代或未取代的芳氧基、取代或未取代的杂环基、取代或未取代的杂环氧基、取代或未取代的烷基硫烷基、取代或未取代的芳基硫烷基、取代或未取代的烷基亚磺酰基、取代或未取代的芳基亚磺酰基、取代或未取代的烷基磺酰基、取代或未取代的芳基磺酰基、取代或未取代的酰氧基、或者取代或未取代的氨基，R³～R⁵各自独立地表示氢原子、卤素原子、氰基、硝基、取代或未取代的链烯基、取代或未取代的烷基、取代或未取代的烷氧基、取代或未取代的芳基、取代或未取代的芳氧基、取代或未取代的杂环基、取代或未取代的杂环氧基、取代或未取代的烷基硫烷基、取代或未取代的芳基硫烷基、取代或未取代的酰基、或者取代或未取代的氨基，R⁶～R⁹各自独立地表示氢原子、卤素原子、氰基、卤代烷基、取代或未取代的烷基、取代或未取代的烷氧基、取代或未取代的芳基、取代或未取代的芳氧基、取代或未取代的杂环基、取代或未取代的杂环氧基、取代或未取代的链烯基、取代或未取代的烷基硫烷基、取代或未取代的芳基硫烷基、取代或未取代的烷基亚磺酰基、取代或未取代的芳基亚磺酰基、取代或未取代的烷基磺酰基、取代或未取代的芳基磺酰基、取代或未取代的氨基、或由下述通式(2)表示的取代基，[化2]式中，R¹’和R²’与R¹和R²同义，R¹⁰～R¹⁴各自独立地表示氢原子、卤素原子、氰基、硝基、卤代烷基、取代或未取代的烷基亚磺酰基、取代或未取代的芳基亚磺酰基、取代或未取代的烷基磺酰基、取代或未取代的芳基磺酰基、或者取代或未取代的酰基，R¹⁰～R¹⁴不全部同时为氢原子，在R¹～R¹⁴中，所述取代或未取代的链烯基是碳数为1至18的直链状、支链状、单环状或缩合多环状链烯基；所述取代或未取代的烷基是碳数为1至18的直链状、支链状、单环状或缩合多环状烷基；或者碳数为2至18并且含有或者不含有1个以上的醚键(‑O‑)的直链状、支链状、单环状或缩合多环状烷基；所述取代或未取代的烷氧基是碳数为1～18的直链状、支链状、单环状或缩合多环状烷氧基；或者碳数为2至18并且含有或者不含有1个以上的醚键的直链状、支链状、单环状或缩合多环状烷氧基；所述取代或未取代的芳基是碳数为6至24的单环或缩合多环芳基；所述取代或未取代的芳氧基是碳数为6～18的单环或缩合多环芳氧基；所述取代或未取代的杂环基是含有氮原子、氧原子、硫原子、磷原子的碳数为4～24的芳香族或脂肪族的杂环基；所述取代或未取代的杂环氧基是含有氮原子、氧原子、硫原子、磷原子的碳数为4～18的单环状或缩合多环状杂环氧基；所述取代或未取代的烷基硫烷基是碳数为1至18的直链状、支链状、单环状或缩合多环状烷基硫基；所述取代或未取代的芳基硫烷基是碳数为6～18的单环状或缩合多环状芳基硫基；所述取代或未取代的烷基亚磺酰基是碳数为1～20的烷基亚磺酰基；作为取代或未取代的芳基亚磺酰基是碳数为6～30的芳基亚磺酰基；所述取代或未取代的烷基磺酰基是碳数为1～20的烷基磺酰基；所述取代或未取代的芳基磺酰基是碳数为6～30的芳基磺酰基；所述取代或未取代的酰基是结合了氢原子或碳数为1至18的直链状、支链状、单环状或缩合多环状的脂肪族的羰基、碳数为2至20的烷氧基取代的羰基、结合了碳数为6至18的单环状或缩合多环状芳基的羰基、碳数为6至18的单环状或缩合多环状芳氧基取代的羰基、结合了含有氮原子、氧原子、硫原子、磷原子的碳数为4～18的单环状或缩合多环状杂环基的羰基；所述取代或未取代的酰氧基是碳数为2～20的酰氧基；所述取代或未取代的膦基是碳数为2至50的膦基；所述取代或未取代的氨基甲酰基是碳数为1至30的氨基甲酰基；所述取代或未取代的氨磺酰基是碳数为0至30的氨磺酰基；所述取代或未取代的氨基是氨基、烷基氨基、二烷基氨基、芳基氨基、二芳基氨基、烷基芳基氨基、苄基氨基、或者二苄基氨基。