扫描电子显微镜内应变检测型原位划痕测试装置及方法

摘要

本发明涉及一种扫描电子显微镜内应变检测型原位划痕测试装置及方法，属于材料性能原位测试领域。包括基座、横向力与轴向力测试传感器、定位部分，定位部分包括粘滑驱动器A、粘滑驱动器B和粘滑驱动器C，并分别与基座连接；横向力与轴向力测试传感器由弹性体、x向/横向力测量应变片组和y向/轴向力测量应变片组成，并通过连接件与滑驱动器A连接。优点在于：装置结构紧凑，尺寸仅为97mm×40mm×44.5mm，可方便安装在扫描电子显微镜载物台上，不仅能实现材料划痕过程的原位动态监测，而且可以实现划痕过程中横向力与轴向力的同步测量，为研究材料划痕过程中变形、损伤机理提供崭新的技术手段，在材料学、精密加工、摩擦学等领域具有潜在的应用前景。

主权项

一种扫描电子显微镜内应变检测型原位划痕测试装置，其特征在于：包括基座、横向力与轴向力测试传感器、定位部分，压头杆及金刚石压头（7）通过锁紧螺钉安装在横向力与轴向力测试传感器前端圆孔中，被测试件（8）通过导电胶带粘贴在粘滑驱动器B（9）上；所述的定位部分包括粘滑驱动器A（3）、粘滑驱动器B（9）和粘滑驱动器C（10），并分别通过螺钉与基座（1）连接；所述的横向力与轴向力测试传感器由弹性体（5）、x向/横向力测量应变片组（4）和y向/轴向力测量应变片组（6）组成，并通过连接件（2）与滑驱动器A（3）连接，其中弹性体（5）包含十字交叉布置的2个凹槽，x向/横向力测量应变片组、y向/轴向力测量应变片组（4、6）分别对应粘贴在2个凹槽薄弱环节。