用于制造平面显示器的基板的清洗液组合物

摘要

本发明公开了一种用于清洗用于平面显示器的基板表面的水性清洗组合物衍生物，所述水性清洗组合物包括硼酸组分和选自有机磷酸和其盐中的一种或多种化合物，且在制造平面显示器期间，可高度去除基板上产生的有机污染物或颗粒，以及非常有效地防止在基板上形成的金属布线的腐蚀。所述水性清洗组合物包括大量去离子水，因此容易处理和对环境友好。

主权项

一种用于制造平面显示器的水性清洗组合物，包含，基于所述组合物的总重，0.01～20wt%的硼酸组分，所述硼酸组分选自由八水合五硼酸铵（(NH₄)₂B₁₀O₁₆·8H₂O）、四水合四硼酸铵（(NH₄)₂B₄O₇·4H₂O)、四水合四硼酸钾（K₂B₄O₇·4H₂O）和四水合八硼酸钠（Na₂B₈O₁₃·4H₂O）组成的组中的一种或多种；0.01～20wt%的选自由1‑羟基亚乙基‑1,1‑二膦酸、羟基膦乙酸、胺基三（亚甲基）膦酸、2‑膦‑丁烷‑1,2,4‑三羧酸和其钠盐或其钾盐组成的组的一种或多种化合物；0.05～10wt%的有机碱性化合物，其中所述有机碱性化合物选自由氢氧化四甲铵（TMAH）、氢氧化四乙铵（TEAH）、氢氧化四丙铵（TPAH）、氢氧化四丁铵（TBAH）、单乙醇胺、二乙醇胺、1‑氨基‑2‑丙醇、三乙醇胺、单丙醇胺和二丁醇胺组成的组中的一种或多种；0.05～40wt%的乙二醇醚化合物，其中所述乙二醇醚化合物选自由乙二醇单丁基醚(BG)、二乙二醇单甲基醚(MDG)、二乙二醇单乙基醚（卡必醇）、二乙二醇单丁基醚(BDG)、二丙二醇单甲基醚(DPM)、二丙二醇单乙基醚(MFDG)、三乙二醇单丁基醚(BTG)、三乙二醇单乙基醚(MTG)和丙二醇单甲基醚(MFG)组成的组中的一种或多种；0.001～1wt%的烷醇胺盐化合物，其中所述烷醇胺盐化合物选自由单乙醇胺盐、二乙醇胺盐、三乙醇胺盐、单异丙醇胺盐、二异丙醇胺盐和三异丙醇胺盐组成的组中的一种或多种；和余量的水。