一种一维微平动机构

摘要

本发明公开了一种基于弹性导向机构的一种一维微平动机构，微位移驱动器的输出端的球头和垫块采用单向接触方式，环形弹性薄片是具有旋转对称的U形连接的环形弹性薄片机构，其内环与内导向套筒通过螺钉紧固，外环与筒状机架通过螺钉紧固，从而确保微平动机构输出平台作一维单向微位移时不会发生转动，并具有在各种工作姿态下和受各种方向的小负载的情况下，实现精密直线微位移导向的功能。本发明具有结构简单，造价低廉，维护和保养容易等优点，解决了微位移驱动器的位移输出不同步带来的问题，并且减小了驱动控制的复杂度，机构中心位置留有较大空间，有利于通光或通过其它器件，适用于各种微纳级一维位移调整机构。

主权项

一种一维微平动机构，其特征在于：包括：微位移驱动组件、包含驱动球头（6）及垫块（3）的单向调整组件、包含平行的第一环形弹性薄片和第二环形弹性薄片（1）的微平动机构导向和支承组件；其中：所述的微位移驱动组件，为3只微位移驱动器（7），且是旋转对称设置；所述的包含球头（6）及垫块（3）的单向调整组件，采用耐磨材料及单向接触方式，有效避免了微位移驱动器（7）之间的位移干涉现象；通过调节螺杆（13）和锁紧螺母（14），可调整垫块（3）的高低并锁紧，从而补偿3只微位移驱动器（7）的高度、加工及安装的误差；同时，可通过调整3个垫块（3）的高度，为微位移驱动器（7）施加必要的预紧力；所述的包含平行的第一环形弹性薄片和第二环形弹性薄片（1）的微平动机构导向和支承组件，此组件利用平行的具有旋转对称的U形连接（5）的环形弹性薄片（1），环形弹性薄片（1）内环与内导向套筒（2）通过螺钉紧固，环形弹性薄片（1）外环与筒状机架通过螺钉紧固，从而确保微平动平台（4）作一维单向微位移时不会发生转动；U形连接（5）的数量为3个，确保在环形弹性薄片（1）内外环之间的留有足够空间，可穿过微位移驱动器（7）。