红外传感器开关器件及其制作方法

摘要

本发明公开了一种基于微细加工技术的、利用双材料梁的残余应力来进行工作的红外传感器开关器件及其制作方法，所述制作方法首先提供一个衬底；然后在所述衬底上淀积并刻蚀形成金属梁，以形成第一电极；接着在所述结构上淀积形成牺牲层；以及在所述牺牲层上方依次淀积金属和非金属材料，刻蚀并释放形成双层材料悬臂梁，以形成可与所述第一电极接触的第二电极，所述双材料悬臂梁的下层金属材料应具有张应力，所述双材料悬臂梁的上层非金属材料应具有压应力。本发明提出的红外传感器开关器件结构简单实用，体积小，且制作工艺简单，同时巧妙利用了双材料悬臂梁的残余应力来进行工作。

主权项

一种红外传感器开关器件，所述器件包括：衬底；位于所述衬底上方的金属梁，用于形成第一电极；位于所述衬底和所述金属梁上方的牺牲层；以及位于所述牺牲层上方的双层材料悬臂梁，用于形成可与所述第一电极接触的可动的第二电极，所述双层材料悬臂梁的下层材料为具有张应力的金属材料，所述双层材料悬臂梁的上层材料为具有压应力非金属材料；所述双层材料悬臂梁中存在残余应力，牺牲层释放后发生弯曲，红外传感器开关器件利用残余应力工作。