一种新型硅片研磨液的搅拌装置

摘要

本实用新型涉及一种新型硅片研磨液的搅拌装置，包括搅拌叶、搅拌轴。所述搅拌叶垂直固定在搅拌轴的下端。其中所述搅拌叶包括搅拌叶基座和搅拌叶片，所述搅拌基座为等腰梯形，所述搅拌叶片为半圆形；所述搅拌叶片设有若干个凸起，凸起垂直固定在搅拌叶片上，凸起呈三棱柱，三棱柱底面为等边三角形。从而可以进行横向及纵向搅拌，从而使得搅拌更加均匀，提高了研磨液的质量。所述每个相邻搅拌叶之间的距离为4mm，所述每个搅拌叶之间的夹角为60°。使得颗粒物穿能够过间隙与研磨液混合，进一步促进搅拌，使得搅拌更加均匀。

主权项

一种新型硅片研磨液的搅拌装置包括搅拌叶、搅拌轴；所述搅拌叶垂直固定在搅拌轴的下端；其中所述搅拌叶包括搅拌叶基座和搅拌叶片，所述搅拌基座为等腰梯形，所述搅拌叶片为半圆形；所述搅拌叶片设有若干个凸起，凸起垂直固定在搅拌叶片上，凸起呈三棱柱，三棱柱底面为等边三角形。