一种硅片搬运承载专用载片篮

摘要

本实用新型公开了一种硅片搬运承载专用载片篮，其包括两侧支撑板、固定在两侧支撑板上的支撑板支架、载片板支架和两块每块由一块、两块或多块分载片板组成的载片板；每个分载片板的内表面均匀分布有硅片卡接槽；在分载片板的边框上开有螺栓孔，在边框之间的分载片板上开有沉孔，分载片板由螺栓、垫片和螺母固定在载片板支架上；螺栓位于边框上的螺栓孔和分载片板上的沉孔内；两侧支撑板上开有多对预设载片板支架安装孔，载片板支架可根据硅片的尺寸需要固定在两侧支撑板上。在不影响硅片载装的情况下分载片板不易松动地固定在方形支架上，延长了本实用新型的使用寿命长，且一种载片篮适应多种规格的硅片的搬运。

主权项

一种硅片搬运承载专用载片篮，其包括两侧支撑板、固定在两侧支撑板上的支撑板支架、载片板支架和两块每块由一块、两块或多块分载片板组成的载片板；每个分载片板的内表面均匀分布有硅片卡接槽；其特征在于：在分载片板的边框上开有螺栓孔，在边框之间的分载片板上开有沉孔，分载片板由螺栓、垫片和螺母固定在载片板支架上；螺栓位于边框上的螺栓孔和分载片板上的沉孔内；两侧支撑板上开有多对预设载片板支架安装孔，载片板支架可根据硅片的尺寸需要固定在两侧支撑板上。