一种石墨管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备

摘要

本发明属于冶金提纯技术领域，特别涉及一种取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备。该方法是在惰性气体中，将硅料熔化进行定向凝固；待凝固完成85~90%时，停止拉锭，将石墨管伸入剩余硅熔体中，向真空腔室通入惰性气体，使剩余硅熔体在压力差作用下进入石墨管，继续拉锭，待坩埚上端离开加热区后，将水冷坩埚伸至石墨管正下方，停止通入惰性气体，对真空腔室抽真空，石墨管中的剩余硅熔体下落至水冷坩埚中冷却凝固；切断电源，停止加热，坩埚中凝固得到的铸锭为高纯硅铸锭。本发明防止了杂质反扩散，减少了工艺，提高了铸锭的出成率，该发明设备改造安装方便，操作简单，能有效去除铸锭尾部富集的杂质，节约了生产周期和成本，适用于工业化生产。

主权项

一种石墨管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法，其特征是：在惰性气体保护环境中，将洗净的硅料加热至完全熔化形成硅熔体后保温；之后降温、垂直向下拉锭，进行定向凝固；待凝固完成85~90%时，停止拉锭，将石墨管伸入上层未凝固的剩余硅熔体中，向真空腔室内通入惰性气体，使上层未凝固的剩余硅熔体在压力差作用下进入石墨管中，待上层未凝固的剩余硅熔体全部压入石墨管后，继续向下拉锭，待坩埚上端离开加热区后，将水冷坩埚伸至石墨管正下方，停止向真空腔室内通入惰性气体，开始对真空腔室抽取真空，石墨管中的上层未凝固的剩余硅熔体下落至水冷坩埚中冷却凝固；切断电源，停止加热，坩埚中凝固得到的铸锭即为高纯硅铸锭。