一种用于OGS小片制程的镀膜夹具

摘要

本实用新型提供了一种用于OGS小片制程的镀膜夹具，包括多个小片基板夹具，所述小片基板夹具呈矩形，由四个边框首尾连接而成，所述边框与所述基板相邻一侧设置有卡槽，所述基板边缘固定在所述卡槽内。本实用新型的用于OGS小片制程的镀膜夹具，能快速对小片的基板进行快速整齐的装片，对多片基板同时镀膜，利于批量生产，提高了生产效率，此外，基板都可以很容易地被固定在传动台上，便于连续式的磁控溅射镀膜。

主权项

一种用于OGS小片制程的镀膜夹具，其特征在于，包括多个小片基板夹具，所述小片基板夹具呈矩形，由四个边框首尾连接而成，所述边框与所述基板相邻一侧设置有卡槽，所述基板边缘固定在所述卡槽内。