用于低压外延腔上的石英进气口的石英插件

摘要

本实用新型公开了一种用于低压外延腔上的石英进气口的石英插件，呈三角形结构，内侧顶点与外侧顶点弧线连接，中间有一隔离壁，将该石英插件分成内侧出气口和外侧出气口，内侧出气口为全敞开式，外侧出气口的出气侧封闭后开设有等腰三角形开口。本实用新型的三角形狭缝石英插件，具备气体特殊的导流功能，能使工艺成膜时，反应气体的气流在中心位置得到增加，从而增加了晶圆中心位置的掺杂浓度，改善了整个晶圆面内的掺杂均匀性。

主权项

用于低压外延腔上的石英进气口的石英插件，其特征在于，呈三角形结构，内侧顶点与外侧顶点弧线连接，中间有一隔离壁，将该石英插件分成内侧出气口和外侧出气口，内侧出气口为全敞开式，外侧出气口的出气侧封闭后开设有等腰三角形开口。