平面度光学测量设备

摘要

本实用新型涉及光学测量技术领域，具体涉及一种自动化、非接触式的平面度光学测量设备，包括机架，第一驱动装置、测量装置、定位装置以及工控系统；机架上端设有工作台；第一驱动装置设置于工作台上；测量装置与第一驱动装置固定连接；定位装置设置于工作台上；工控系统设置于机架内。本实用新型克服了现有平面度检测方式的缺陷，具有精度高、人为干扰因素小、成本低和效率高的特点。

主权项

一种平面度光学测量设备，其特征在于：包括机架，所述机架上端设有工作台；第一驱动装置，设置于所述工作台上；测量装置，与所述第一驱动装置固定连接，用于获取待测工件的数据；定位装置，设置于所述工作台上，用于固定待测工件；工控系统，设置于所述机架内，用于控制所述第一驱动装置和测量装置，以及计算分析所述测量装置反馈的数据。