平面三自由度压电驱动平台及其运动驱动方法

摘要

本发明公开了一种平面三自由度压电驱动平台及其运动驱动方法，属于精密驱动技术领域。包括功能平台、压电驱动模块、弹性板和静平台，所述功能平台用于承载定位物体并与压电驱动模块连接；所述压电驱动模块包括2个压电叠堆、位移放大机构、连接板、固定螺栓以及预紧力螺栓；所述弹性板通过固定螺栓与压电驱动模块连接；所述静平台作为弹性板的支撑平台，设置在弹性板下方。通过对设置在弹性板上的组呈正方形排列的压电驱动模块分别施加特定的驱动信号，可在弹性板上激发出不同方向运行的行波，从而实现功能平台的三自由度的运动。本发明避免了传统机械式传动引入的铰链间隙等误差，可实现大行程、高精度的定位目标。

主权项

一种平面三自由度压电驱动平台，其特征在于：包括功能平台（5）和弹性板（7），还包括安装于功能平台（5）和弹性板（7）之间的压电驱动器，还包括位于弹性板（7）下方并与弹性板（7）下表面直接接触的静平台（8）；上述压电驱动器由个压电驱动模块（14）组成，其中n大于等于4，每个压电驱动模块（14）均包括一个位移放大机构（3），位移放大机构（3）的两侧各具有1个压电叠堆（6）、1个预紧螺栓（2）、1个连接板（1）；其中所述连接板（1）上部固连于功能平台（5）下方，所述预紧螺栓（2）安装于所述连接板（1）下部，所述压电叠堆（6）通过预紧螺栓（2）压紧在位移放大机构（3）侧面；个压电驱动模块（14）呈正方形均匀排列方式安装于功能平台（5）和弹性板（7）之间,即正方形的每条边安装有n+1个压电驱动模块。