| 发明名称 | 一种制备金刚石膜的装置及使用该装置制备金刚石膜的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种制备金刚石膜的装置，其采用微波等离子体化学气相沉积装置，该装置包括微波系统、真空系统、供气系统和等离子反应室，等离子反应室中设有一自旋转基片台，工作过程中微波系统产生的微波进入等离子反应室，在自旋转基片台上方激发供气系统提供的气体产生等离子体球，在自旋转基片台上方还设有耐高温金属圆环，该耐高温金属圆环位于等离子球内部下半部分。 | ||
| 申请公布号 | CN103911596A | 申请公布日期 | 2014.07.09 |
| 申请号 | CN201410068775.2 | 申请日期 | 2014.02.27 |
| 申请人 | 武汉工程大学 | 发明人 | 满卫东;汪建华;游志恒;涂昕;张玮;林晓棋;阳硕 |
| 分类号 | C23C16/27(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/27(2006.01)I |
| 代理机构 | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人 | 崔友明 |
| 主权项 | 一种制备金刚石膜的装置，其采用微波等离子体化学气相沉积装置，该装置包括微波系统、真空系统、供气系统和等离子反应室，等离子反应室中设有一自旋转基片台，工作过程中微波系统产生的微波进入等离子反应室，在自旋转基片台上方激发供气系统提供的气体产生等离子体球，其特征在于：在自旋转基片台上方还设有耐高温金属圆环，该耐高温金属圆环位于等离子球内部下半部分。 | ||
| 地址 | 430074 湖北省武汉市洪山区雄楚大街693号 | ||