发明名称 |
一种氧化硅抛光液及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种氧化硅抛光液,包括以下质量百分含量的各组分:胶体氧化硅10-50%,氧化剂双氧水1-5%,表面活性剂0.2-1%,缓蚀剂,0.2-2%,去离子水,48.6-89.6%。所述氧化剂为双氧水;所述表面活性剂聚乙二醇,十二烷基硫酸钠,二苯胺磺酸钠中的一种或其任意组合物。该抛光液用于铝合金基片抛光,能够减少氧化硅的结晶,从而降低铝合金表面划伤和划痕。 |
申请公布号 |
CN103911617A |
申请公布日期 |
2014.07.09 |
申请号 |
CN201410093599.8 |
申请日期 |
2014.03.13 |
申请人 |
深圳市宇泰隆科技有限公司 |
发明人 |
曾名辉 |
分类号 |
C23F3/02(2006.01)I |
主分类号 |
C23F3/02(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市中联专利代理有限公司 44274 |
代理人 |
李俊 |
主权项 |
一种氧化硅抛光液,其特征在于,包括以下质量百分含量的各组分:<img file="FDA0000476840620000011.GIF" wi="1168" he="709" />所述氧化剂为双氧水;所述表面活性剂聚乙二醇,十二烷基硫酸钠,二苯胺磺酸钠中的一种或其任意组合物。 |
地址 |
518000 广东省深圳市龙华新区观澜狮径社区悦兴路45号1楼102 |