发明名称 一种氧化硅抛光液及其制备方法
摘要 本发明提供了一种氧化硅抛光液,包括以下质量百分含量的各组分:胶体氧化硅10-50%,氧化剂双氧水1-5%,表面活性剂0.2-1%,缓蚀剂,0.2-2%,去离子水,48.6-89.6%。所述氧化剂为双氧水;所述表面活性剂聚乙二醇,十二烷基硫酸钠,二苯胺磺酸钠中的一种或其任意组合物。该抛光液用于铝合金基片抛光,能够减少氧化硅的结晶,从而降低铝合金表面划伤和划痕。
申请公布号 CN103911617A 申请公布日期 2014.07.09
申请号 CN201410093599.8 申请日期 2014.03.13
申请人 深圳市宇泰隆科技有限公司 发明人 曾名辉
分类号 C23F3/02(2006.01)I 主分类号 C23F3/02(2006.01)I
代理机构 深圳市中联专利代理有限公司 44274 代理人 李俊
主权项 一种氧化硅抛光液,其特征在于,包括以下质量百分含量的各组分:<img file="FDA0000476840620000011.GIF" wi="1168" he="709" />所述氧化剂为双氧水;所述表面活性剂聚乙二醇,十二烷基硫酸钠,二苯胺磺酸钠中的一种或其任意组合物。
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